ผลิตภัณฑ์ในซีรีส์นี้รวมถึงแบบตรวจจับการมีอยู่ (presence detection) และแบบตรวจจับการเคลื่อนที่ (แผ่นฐานแก้ว) สำหรับการวัดแผนที่ของเวเฟอร์
นอกจากนี้ยังมีรุ่นที่ทนความร้อนให้เลือกใช้ด้วย

• 

สำหรับการสร้างแผนที่ด้วย แบบลำแสงผ่าน สายเคเบิลไฟเบอร์ออปติก แบบปลอก/แบบมองด้านข้าง

มีรุ่นสามรุ่นที่ใช้งานได้หลากหลาย

•