การวัดทิศทางของเวเฟอร์

เซ็นเซอร์วัดระยะทางด้วยเลเซอร์ CD33-L30 * สามารถใช้เพื่อวัดทิศทางของแผ่นเวเฟอร์บนแขนหุ่นยนต์ได้ เนื่องจากเป็นเซ็นเซอร์แบบสะท้อนผิวเรียบ CD33-L30 * จึงสามารถวัดทิศทางได้อย่างแม่นยำ แม้กับวัตถุที่มีผิวสะท้อนเรียบ เช่น แผ่นเวเฟอร์

• เล็ก เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์

  CD33 ซีรีส์

  ขนาดครึ่งฝ่ามือ เหมาะสำหรับการติดตั้งในเครื่องที่มีขนาดเล็ก

  

• เซนเซอร์ แบบ Displacement ยูนิตสื่อสาร

  ซีรีส์ UQ1

  สามารถเชื่อมต่อกับ PLC ของ Mitsubishi Electric ได้ เป็นหน่วยควบคุมเซ็นเซอร์การเคลื่อนที่ตัวแรกในอุตสาหกรรม