การวัดทิศทางการวางแผ่นเวเฟอร์

เซ็นเซอร์วัดระยะด้วยเลเซอร์ CD33-L30* สามารถใช้ในการวัดทิศทางของแผ่นเวเฟอร์บนแขนหุ่นยนต์ได้ เนื่องจากเป็นเซ็นเซอร์แบบสะท้อนแสง จึงทำให้ CD33-L30* สามารถวัดทิศทางได้อย่างแม่นยำแม้กับวัตถุที่มีการสะท้อนแสงสูง เช่น แผ่นเวเฟอร์

• เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์ ขนาดเล็ก

  ซีรีส์ CD33

  ขนาดเท่าครึ่งฝ่ามือ เหมาะสำหรับใช้งานแบบฝังในเครื่องจักรขนาดเล็ก

  

• ยูนิตสื่อสาร เซ็นเซอร์วัดระยะการเคลื่อนที่

  ซีรีส์ UQ1

  สามารถเชื่อมต่อกับ PLC ของ Mitsubishi Electric ได้ เป็นชุดควบคุมเซ็นเซอร์วัดระยะการเคลื่อนที่ตัวแรกของอุตสาหกรรม