IC/LSI 공면도 측정
IC/LSI의 평면도는 부품 픽업 후 측정됩니다. CD5-85A는 0.25μm의 반복 정밀도로 평면도를 정밀하게 측정할 수 있습니다.
사용된 산업
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고성능 다중 유닛 레이저 변위 센서
CD5 시리즈
정확성, 안정성 및 조작성의 차세대 통합
전자 부품의 응용 사례
- 마이리스트
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IC/LSI의 평면도는 부품 픽업 후 측정됩니다. CD5-85A는 0.25μm의 반복 정밀도로 평면도를 정밀하게 측정할 수 있습니다.
고성능 다중 유닛 레이저 변위 센서
정확성, 안정성 및 조작성의 차세대 통합