유리 기판의 두께 및 노광 마스크의 높이 측정

스페큘러 반사형 CMOS 레이저 변위 센서 CD33-L30을 사용하여 노출 마스크 높이 제어와 유리 두께 측정이 단일 장비로 수행됩니다. 노출 마스크까지의 거리를 측정하여 최적의 높이를 조정합니다; 이후 유리 기판가 위를 지나갈 때 두께를 측정합니다. 고투명 유리 기판의 경우, 0.7mm 이상의 두께를 한쪽에서 측정할 수 있어 두 센서 배치가 필요 없습니다.

• 작은 레이저 변위 센서

  CD33 시리즈

  손바닥 절반 크기. 소형 기계에 내장하여 사용하기에 이상적입니다.

  

• 변위 센서 통신 유닛

  UQ1 시리즈

  미쓰비시 일렉트릭 PLC와 연결 가능. 업계 최초의 변위 센서 제어 장치