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사용된 산업

유리 기판의 두께와 노광 마스크의 높이를 측정했습니다.

  • 유리 기판의 두께와 노광 마스크의 높이를 측정했습니다.

스펠러 반사형 CMOS 레이저 변위 센서 CD33-L30을 사용하여 노출 마스크 높이 제어와 유리 두께 측정을 단일 장비로 수행할 수 있습니다. 노출 마스크까지의 거리를 측정하여 최적의 높이를 조정합니다; 그 후 유리 기판이 위를 지나갈 때 두께를 측정합니다. 고투명 유리 기판의 경우, 0.7mm 이상의 두께를 한쪽에서 측정할 수 있어 두 센서 배치를 대조할 필요가 없습니다.

사용된 산업

  • 소형 레이저 변위 센서

    CD33 시리즈

    손바닥 절반 크기. 소형 기계에 내장하여 사용하기에 이상적입니다.

    CD33 시리즈
  • 변위 센서 통신 유닛

    UQ1 시리즈

    미쓰비시 일렉트릭 PLC와 연결 가능. 업계 최초의 변위 센서 제어 장치

    UQ1 시리즈

FPD/PV 적용 사례

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