유리 기판의 두께 및 노광 마스크의 높이 측정

거울 반사 방식의 CMOS 레이저 변위 센서 CD33-L30을 사용하면, 단일 설비로 노광 마스크 높이 제어와 유리 두께 측정을 모두 수행할 수 있습니다. 노광 마스크까지의 거리를 측정하여 최적의 높이를 조정한 후, 유리 기판이 그 위를 통과할 때 두께를 측정합니다. 투명도가 높은 유리 기판의 경우, 한쪽 면에서 0.7mm 이상의 두께를 측정할 수 있으므로, 반대편에 두 개의 센서를 배치할 필요가 없습니다.

• 작은 레이저 변위 센서

  CD33 시리즈

  손바닥 절반 크기. 소형 기계에 내장하여 사용하기에 이상적입니다.

  

• 변위 센서 통신 유닛

  UQ1 시리즈

  미쓰비시 전기 PLC에 연결 가능 업계 최초의 변위 센서 제어 장치