노광 마스크의 뒤틀림 측정
마스크 이송 공정에서는 노광 마스크까지의 거리를 측정하여 진공 픽 앤 플레이스 로봇을 제어함으로써, 고가의 마스크가 손상되는 것을 방지합니다. CD33 CMOS 레이저 변위 센서 제품군에는 경면 반사형이 포함되어 있어, 투명한 노광 마스크의 표면 위치를 고정밀도로 측정할 수 있으며, 이를 통해 손상 없는 이송이 가능합니다.
제품 중고
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작은 레이저 변위 센서
CD33 시리즈
손바닥 절반 크기. 소형 기계에 내장하여 사용하기에 이상적입니다.
FPD/PV 적용 사례
- 마이리스트
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