노광 마스크의 뒤틀림 측정
마스크 전송 공정에서 노광 마스크까지의 거리를 측정하여 진공 픽앤플레이스 로봇을 제어함으로써 고가의 마스크 손상을 방지합니다. CD33 CMOS 레이저 변위 센서 제품군에는 반사형 센서가 포함되어 있어 투명 노광 마스크의 표면 위치를 높은 정확도로 측정할 수 있으므로 손상 없는 전송이 가능합니다.
사용된 산업
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소형 레이저 변위 센서
CD33 시리즈
손바닥 절반 크기. 소형 기계에 내장하여 사용하기에 이상적입니다.
FPD/PV 적용 사례
- 마이리스트
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