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PV의 위치를 확인하십시오 기판

  • PV의 위치를 확인하십시오 기판

LS 센서를 사용하여 실리콘 기판의 정지 위치(X 방향)를 측정하면 수신 장치에 정확한 위치 정보를 전송할 수 있습니다. 이를 통해 공정 단계 간 이송 과정에서 실리콘 기판의 손상을 방지할 수 있습니다.

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  • 2차원 레이저 변위 센서

    LS 시리즈

    빠르고 정확하게 높이와 너비를 측정하는 라인 빔

    LS 시리즈

FPD/PV 적용 사례

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