스퍼터링 타겟의 두께 측정
스퍼터링 타겟의 두께는 CD5-30 레이저 변위 센서를 사용하여 측정합니다. OPTEX FA가 새롭게 개발한 "Tri-CORE" 기술 덕분에 뛰어난 측정 안정성을 구현했습니다. 정반사 모드에서 센서는 0.1µm의 반복 정밀도 제공하여 고정밀 측정을 가능하게 합니다. 이는 스퍼터링 타겟의 불균일성을 억제하고 박막 증착 과정의 정확도를 향상시키는 데 기여합니다.
사용된 산업
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고성능 다중 유닛 레이저 변위 센서
CD5 시리즈
정확성, 안정성 및 조작성의 차세대 통합
전기 장비의 응용 사례
- 마이리스트
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