스퍼터링 타겟의 두께 측정

스퍼터링 타겟의 두께는 CD5-30 레이저 변위 센서로 측정됩니다. OPTEX FA가 새롭게 개발한 “Tri-CORE” 기술 덕분에 진정한 측정 안정성을 실현했습니다. 정반사 모드에서 이 센서는 0.1 µm의 측정 분해능(반복 정밀도)을 제공하여 고정밀 측정이 가능합니다. 이를 통해 스퍼터링 타겟의 불균일성을 억제하고, 박막 증착 시 정확도 향상에 기여합니다.

• 고성능 다중 유닛 레이저 변위 센서

  CD5 시리즈

  정밀성, 안정성, 사용 편의성이 한 차원 더 높아진 통합