การวัดความหนาของเป้าหมายการสปัตเตอร์

ความหนาของเป้าหมายการสปัตเตอร์ถูกวัดด้วยเซ็นเซอร์วัดระยะเลเซอร์ CD5-30 ความเสถียรในการวัดที่แท้จริงเกิดขึ้นได้ด้วยเทคโนโลยี “Tri-CORE” ที่พัฒนาขึ้นใหม่ของ OPTEX FA ในโหมดสะท้อนแสงแบบสเปคคูลาร์ เซ็นเซอร์ให้ความสามารถในการทำซ้ำได้ 0.1 µm ทำให้สามารถวัดได้อย่างแม่นยำสูง ซึ่งช่วยลดความไม่สม่ำเสมอของเป้าหมายการสปัตเตอร์และส่งผลให้ความแม่นยำระหว่างการตกตะกอนฟิล์มดีขึ้น

• เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์ แบบหลายยูนิตประสิทธิภาพสูง

  ซีรีส์ CD5

  การผสานรวมความแม่นยำ ความเสถียร และความสามารถในการใช้งานในระดับที่เหนือกว่า