การวัดความหนาของเป้าหมายการสปัตเตอร์

The thickness of a sputtering target is measured with the CD5-30 laser displacement sensor. True measurement stability is achieved thanks to OPTEX FA’s newly developed “Tri-CORE” technology. In specular reflective mode, the sensor delivers repeatability of 0.1 µm, enabling high-precision measurement. This suppresses sputtering target unevenness and contributes to improved accuracy during film deposition.

• ระบบหลายหน่วยประสิทธิภาพสูง เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์

  CD5 ซีรีส์

  การผสานรวมความแม่นยำ ความเสถียร และความสามารถในการใช้งานในระดับที่เหนือกว่า