การวัดความหนาของเป้าหมายการสปัตเตอร์

ความหนาของเป้าหมายการสปัตเตอร์ถูกวัดด้วยเซ็นเซอร์วัดการเคลื่อนที่ด้วยเลเซอร์รุ่น CD5-30 ความเสถียรในการวัดที่แท้จริงเกิดขึ้นได้เนื่องจากเทคโนโลยี “Tri-CORE” ที่พัฒนาขึ้นใหม่โดย OPTEX FA โหมดสะท้อนแสงแบบกระจก, เซนเซอร์นี้ให้ความสามารถในการทำซ้ำได้ 0.1 µm ซึ่งช่วยให้การวัดมีความแม่นยำสูง สิ่งนี้ช่วยลดความไม่สม่ำเสมอของเป้าหมายสปัตเทอริง และช่วยเพิ่มความแม่นยำในการเคลือบฟิล์ม

• ระบบหลายหน่วยประสิทธิภาพสูง เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์

  ซีรีส์ CD5

  การผสานรวมในระดับถัดไปของความแม่นยำ ความเสถียร และความสะดวกในการใช้งาน