Medición de la deformación de la máscara de exposición
En el proceso de transferencia de máscaras, se mide la distancia a la máscara de exposición y se utiliza para controlar el robot de vacío de recogida y colocación, evitando así daños a la máscara de alto valor. Dado que la gama de sensores de desplazamiento láser CMOS CD33 incluye un tipo de reflexión especular, la posición superficial de las máscaras de exposición transparentes se puede medir con alta precisión, lo que permite una transferencia sin daños.
Productos utilizados
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Pequeños Sensores de desplazamiento láser
CD33 Serie
Tamaño de media palma. Ideal para uso integrado con máquinas más pequeñas.
Ejemplos de aplicación para FPD/PV
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