Medición de la deformación de la máscara de exposición
En el proceso de transferencia de máscaras, se mide la distancia a la máscara de exposición y se utiliza para controlar el robot de vacío de recogida y colocación, lo que evita que se dañe la máscara, que es de gran valor. Dado que la gama de sensores de desplazamiento láser CD33 CMOS incluye un modelo de reflexión especular, es posible medir con gran precisión la posición superficial de las máscaras de exposición transparentes, lo que permite una transferencia sin daños.
Productos utilizados
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Sensores de desplazamiento láser pequeños
Serie CD33
Del tamaño de media palma. Ideal para su uso integrado en máquinas más pequeñas.
Ejemplos de aplicación para FPD/PV
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