Medición de la deformación de la máscara de exposición
En el proceso de transferencia de máscaras, se mide la distancia a la máscara de exposición y se utiliza para controlar el robot de vacío de recogida y colocación, lo que evita que se dañe la máscara, que tiene un gran valor. Dado que la gama de sensores de desplazamiento láser CMOS CD33 incluye un modelo de reflexión especular, es posible medir con gran precisión la posición superficial de las máscaras de exposición transparentes, lo que permite una transferencia sin daños.
Productos De segunda mano
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Pequeños Sensores de desplazamiento láser
CD33 Serie
Tamaño de media palma. Ideal para uso integrado con máquinas más pequeñas.
Ejemplos de aplicación para FPD/PV
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