Comprueba la posición del PV sustrato

  • Comprueba la posición del PV sustrato

La medición de la posición de parada de un «sustrato» de silicio (en la dirección X) mediante un sensor LS permite transmitir información correcta sobre la posición al dispositivo receptor. De este modo se evitan daños en el «sustrato» de silicio durante el traspaso entre las distintas fases del proceso.

Productos utilizados

  • bidimensional Sensores de desplazamiento láser

    Serie LS

    Haz lineal para la medición rápida y precisa de la altura y la anchura

    Serie LS

Ejemplos de aplicación para FPD/PV

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