Medición del espesor de un blanco de pulverización catódica
El espesor de un blanco de pulverización se mide con el sensor de desplazamiento láser «CD5-30». La verdadera estabilidad de la medición se consigue gracias a la tecnología «Tri-CORE», recientemente desarrollada por OPTEX FA. En modo de reflexión especular, el sensor ofrece un repetibilidad e de 0.1 µm, lo que permite una medición de alta precisión. Esto reduce las irregularidades del blanco de pulverización y contribuye a mejorar la precisión durante la deposición de la película.
Productos utilizados
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Sensores de desplazamiento láser multiunidad de alto rendimiento
Serie CD5
Un nuevo nivel de integración entre precisión, estabilidad y facilidad de uso
Ejemplos de aplicación para equipos eléctricos
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