Medición del espesor del objetivo de pulverización catódica
El espesor de un blanco de pulverización catódica se mide con el sensor de desplazamiento láser CD5-30. La estabilidad de medición se logra gracias a la tecnología “Tri-CORE” de reciente desarrollo de OPTEX FA. En modo de reflexión especular, el sensor ofrece una repetibilidad de 0,1 µm, lo que permite una medición de alta precisión. Esto minimiza las irregularidades del blanco de pulverización catódica y contribuye a una mayor precisión durante la deposición de la película.
Productos utilizados
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Sensores de desplazamiento láser multiunidad de alto rendimiento
Serie CD5
Integración de precisión, estabilidad y operatividad de siguiente nivel.
Ejemplos de aplicación para equipos eléctricos
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