Medición del espesor del objetivo de pulverización catódica
The thickness of a sputtering target is measured with the CD5-30 laser displacement sensor. True measurement stability is achieved thanks to OPTEX FA’s newly developed “Tri-CORE” technology. In specular reflective mode, the sensor delivers repeatability of 0.1 µm, enabling high-precision measurement. This suppresses sputtering target unevenness and contributes to improved accuracy during film deposition.
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Sensores de desplazamiento láser multiunidad de alto rendimiento
CD5 Serie
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Ejemplos de aplicación para equipos eléctricos
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